羅茨真空泵是一種容積式真空泵，又稱機械增壓泵，是目前獲得中、高真空泵的主要抽氣設備之一，其工作原理與羅茨鼓風機相似，是利用兩個8字形轉子在泵殼內作同步轉動，從而完成吸氣和排氣的過程。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點：
    1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
    2、轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體 、間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；
    3、泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；
    4、泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
    5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
    6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內外得到較快的發展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用。